ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲ ಶೋಧಕಗಳು

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಏಕೆ ಬಳಸಬೇಕು? 

ಹಲವಾರು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಕಾರಣಗಳಿಗಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ:

1. ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯು ಹಲವಾರು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಅತಿ ಚಿಕ್ಕ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಸಹ,

ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳು, ತೇವಾಂಶ ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಉಳಿಕೆಗಳು ಹಾನಿಕಾರಕ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಬೀರಬಹುದು. ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ಕಣಗಳು, ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮತ್ತು ವಾಯುಗಾಮಿ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು, ಶುದ್ಧ ಪರಿಸರವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ

ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು.

2. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಬಳಸಿದ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮಾಡಬಹುದು

ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿನ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಪ್ಯೂರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ತಡೆಯುತ್ತದೆ

ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುವುದು.

3. ಸಲಕರಣೆಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುವುದು

ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಹಾನಿ ಮಾಡುವುದಲ್ಲದೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯನ್ನು ಹಾನಿಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು

ಎಚ್ಚಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು. ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಈ ದುಬಾರಿ ಯಂತ್ರಗಳನ್ನು ಹಾನಿಯಿಂದ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತವೆ, ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ

ಅಲಭ್ಯತೆ ಮತ್ತು ದುಬಾರಿ ರಿಪೇರಿ.

4. ಇಳುವರಿ ನಷ್ಟವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟುವುದು

ಅರೆವಾಹಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಇಳುವರಿಯು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ದೋಷಗಳು ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಗಣನೀಯ ನಷ್ಟವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು.

ಒಂದು ಕಣ ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಅಶುದ್ಧತೆಯು ಇಳುವರಿ ನಷ್ಟಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಉತ್ಪಾದಕತೆ ಮತ್ತು ಲಾಭದಾಯಕತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಶುದ್ಧವಾಗಿವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

5. ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುವುದು

ಅರೆವಾಹಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವು ಅತ್ಯುನ್ನತವಾಗಿದೆ. ಕಲುಷಿತ ಅನಿಲಗಳು ರಚಿಸಬಹುದು

ಅಸಂಗತತೆಗಳು, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಲ್ಲದ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಅನಿಲ ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಮೂಲಕ, ತಯಾರಕರು ಮಾಡಬಹುದು

ಪ್ರತಿ ಬ್ಯಾಚ್ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಕಠಿಣ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಾತರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಧನಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ

ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯ.

6. ಅಲಭ್ಯತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿನ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಉಪಕರಣಗಳ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ನಿರ್ವಹಣೆ ಅಥವಾ ಬದಲಿ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.

ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಮೂಲಕ, ತಯಾರಕರು ಅನಿರೀಕ್ಷಿತ ಅಲಭ್ಯತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು, ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು

ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಿ.

7. ರಾಸಾಯನಿಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ

ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಅನೇಕ ಅನಿಲಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ. ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು

ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡುವಾಗ ಈ ಕಠಿಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ

ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆ.

ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ, ಅರೆವಾಹಕದ ಶುದ್ಧತೆ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ.

ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ, ದೋಷ-ಮುಕ್ತ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ

ಮೌಲ್ಯಯುತ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಸಹ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಅನಿಲ ಶೋಧಕಗಳ ವಿಧಗಳು

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಅನಿಲ ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳನ್ನು ವಿವಿಧ ಪರಿಹರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ

ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ರಕ್ಷಣೆಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ಹಂತಗಳು ಮತ್ತು ಸವಾಲುಗಳು.

ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಪ್ರಕಾರಗಳು:

1. ಪರ್ಟಿಕ್ಯುಲೇಟ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ಕಣಗಳು, ಧೂಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಘನ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು.

* ಬಳಕೆ: ಕಣಗಳ ಮಾಲಿನ್ಯದಿಂದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕೋಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸಲು ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್, PTFE, ಅಥವಾ ಬಾಳಿಕೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುವ ಇತರ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

2. ಆಣ್ವಿಕ ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶೋಧಕಗಳು (ಗೆಟರ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು)

*ಉದ್ದೇಶ: ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿ ಇರಬಹುದಾದ ತೇವಾಂಶ, ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ಸಾವಯವ ಸಂಯುಕ್ತಗಳಂತಹ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಆಣ್ವಿಕ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು.

* ಬಳಕೆ: ಶೇಖರಣೆ ಅಥವಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲದ ಅಗತ್ಯವಿರುವಾಗ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆಣ್ವಿಕ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಬಲೆಗೆ ಬೀಳಿಸಲು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಸಕ್ರಿಯ ಇದ್ದಿಲು, ಜಿಯೋಲೈಟ್ ಅಥವಾ ಇತರ ಆಡ್ಸರ್ಬೆಂಟ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸಿ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ.

3. ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ (UHP) ಅನಿಲ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣದೊಂದು ಅಶುದ್ಧತೆಯು ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

* ಬಳಕೆ: ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಠೇವಣಿ (CVD) ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚುವಿಕೆಯಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಗಂಭೀರ ದೋಷಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ವಿಪರೀತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ವಿಶೇಷ ಪೊರೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

4. ಬೃಹತ್ ಅನಿಲ ಶೋಧಕಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ಪ್ರವೇಶದ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳಿಗೆ ವಿತರಿಸುವ ಮೊದಲು ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಲು.

* ಬಳಕೆ: ಪ್ರತ್ಯೇಕ ಉಪಕರಣಗಳು ಅಥವಾ ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ಗಳಿಗೆ ಸರಬರಾಜು ಮಾಡುವ ಮೊದಲು ಅನಿಲಗಳನ್ನು ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡಲು ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಅಪ್‌ಸ್ಟ್ರೀಮ್‌ನಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗಿದೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಈ ಶೋಧಕಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ನಿಭಾಯಿಸಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ.

5. ಪಾಯಿಂಟ್-ಆಫ್-ಯೂಸ್ (POU) ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ಪ್ರತಿಯೊಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಕ್ಕೆ ವಿತರಿಸಲಾದ ಅನಿಲಗಳು ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳಿಂದ ಮುಕ್ತವಾಗಿವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು.

* ಬಳಕೆ: ಎಚ್ಚಣೆ ಅಥವಾ ಠೇವಣಿ ಕೋಣೆಗಳಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುವ ಮೊದಲು ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಮೆಟಲ್ ಅಥವಾ PTFE ನಂತಹ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

6. ಇನ್ಲೈನ್ ​​ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಮೂಲಕ ಚಲಿಸುವ ಅನಿಲಗಳಿಗೆ ಇನ್ಲೈನ್ ​​ಶೋಧನೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲು.

* ಬಳಕೆ: ಪ್ರಮುಖ ಬಿಂದುಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಲೈನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ, ಸಿಸ್ಟಮ್‌ನಾದ್ಯಂತ ನಡೆಯುತ್ತಿರುವ ಶೋಧನೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ ರಾಸಾಯನಿಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಅಥವಾ ನಿಕಲ್.

7. ಮೇಲ್ಮೈ ಮೌಂಟ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ಆಣ್ವಿಕ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ನೇರವಾಗಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಪ್ಯಾನಲ್ ಘಟಕಗಳ ಮೇಲೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗಿದೆ.

* ಬಳಕೆ: ಬಿಗಿಯಾದ ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪಾಯಿಂಟ್-ಆಫ್-ಯೂಸ್ ಶೋಧನೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಬಾಳಿಕೆ ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್.

8. ಉಪ-ಮೈಕ್ರಾನ್ ಶೋಧಕಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಇನ್ನೂ ಗಮನಾರ್ಹ ದೋಷಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವ ಅತ್ಯಂತ ಸಣ್ಣ ಕಣಗಳನ್ನು ಶೋಧಿಸಲು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಉಪ-ಮೈಕ್ರಾನ್ ಗಾತ್ರದಷ್ಟು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ.

* ಬಳಕೆ: ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯಂತಹ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಶುದ್ಧ ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅತ್ಯುನ್ನತ ಮಟ್ಟದ ಶೋಧನೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗಿದೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಲೋಹ ಅಥವಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು ಚಿಕ್ಕ ಕಣಗಳನ್ನು ಸಹ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಬಲೆಗೆ ಬೀಳಿಸಬಹುದು.

9. ಸಕ್ರಿಯ ಇಂಗಾಲದ ಶೋಧಕಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ಸಾವಯವ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಮತ್ತು ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು.

* ಬಳಕೆ: ವೇಫರ್ ಮಾಲಿನ್ಯ ಅಥವಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಅಡಚಣೆಗಳನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಅನಿಲ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಬೇಕಾದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಸಾವಯವ ಅಣುಗಳನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಸಕ್ರಿಯ ಇಂಗಾಲದ ವಸ್ತುಗಳು.

10.ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಮೆಟಲ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ರಚನಾತ್ಮಕ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ನೀಡುವಾಗ ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು.

* ಬಳಕೆ: ದೃಢವಾದ ಫಿಲ್ಟರಿಂಗ್ ಅಗತ್ಯವಿರುವಲ್ಲಿ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಬಹು ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಅಥವಾ ಇತರ ಲೋಹದ ಮಿಶ್ರಲೋಹಗಳಿಂದ ಕಠಿಣ ಪರಿಸರ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಲು ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

11.ಹೈಡ್ರೋಫೋಬಿಕ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು

*ಉದ್ದೇಶ: ತೇವಾಂಶ ಅಥವಾ ನೀರಿನ ಆವಿಯನ್ನು ಗ್ಯಾಸ್ ಸ್ಟ್ರೀಮ್‌ಗೆ ಪ್ರವೇಶಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು, ಇದು ತೇವಾಂಶದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಸಹ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುವ ಕೆಲವು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.

* ಬಳಕೆ: ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವೇಫರ್ ಒಣಗಿಸುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆಯಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

* ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು: PTFE ನಂತಹ ಹೈಡ್ರೋಫೋಬಿಕ್ ಪೊರೆಗಳು, ಅನಿಲಗಳು ತೇವಾಂಶದ ಮಾಲಿನ್ಯದಿಂದ ಮುಕ್ತವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು.

ಈ ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ವಸ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ವಿಶಿಷ್ಟ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿನ ದೋಷಗಳನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಸರಿಯಾದ ಸಂಯೋಜನೆಯು ಅತ್ಯಗತ್ಯ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಬಗ್ಗೆ ಕೆಲವು FAQ

FAQ 1:

ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲ ಶೋಧಕಗಳು ಯಾವುವು ಮತ್ತು ಅವು ಏಕೆ ಮುಖ್ಯ?

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ.

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಅವುಗಳನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆಆಮ್ಲಜನಕ,

ಸಾರಜನಕ, ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ರಾಸಾಯನಿಕ ಅನಿಲಗಳು.

ಈ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟ, ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯ ಮೇಲೆ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ.

ಗ್ಯಾಸ್ ಸ್ಟ್ರೀಮ್‌ಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತವೆ:

1. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಿ:

ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳು ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಕುಗ್ಗಿಸುವ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳಿಂದ ಮುಕ್ತವಾಗಿವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ.

2. ಉಪಕರಣದ ಹಾನಿಯನ್ನು ತಡೆಯಿರಿ:

ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಕಣ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಮಾಲಿನ್ಯದಿಂದ ರಕ್ಷಿಸಿ, ಇದು ದುಬಾರಿ ಅಲಭ್ಯತೆ ಮತ್ತು ರಿಪೇರಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.

3.ಉತ್ಪನ್ನ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ:

ಅನಿಲ-ಹರಡುವ ಕಲ್ಮಶಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ವೈಫಲ್ಯಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

4. ಸಾಧನದ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿ:

ಮಾಲಿನ್ಯ-ಸಂಬಂಧಿತ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಂದಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಅವನತಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ.

FAQ 2:

ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲ ಶೋಧಕಗಳ ಸಾಮಾನ್ಯ ವಿಧಗಳು ಯಾವುವು?

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಹಲವಾರು ರೀತಿಯ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ

ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ರೀತಿಯ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು.

ಅತ್ಯಂತ ಸಾಮಾನ್ಯ ವಿಧಗಳು ಸೇರಿವೆ:

1.ಪರ್ಟಿಕ್ಯುಲೇಟ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು:

ಈ ಶೋಧಕಗಳು ಅನಿಲ ಹೊಳೆಗಳಿಂದ ಧೂಳು, ನಾರುಗಳು ಮತ್ತು ಲೋಹದ ಕಣಗಳಂತಹ ಘನ ಕಣಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತವೆ.

ಅವುಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಮೆಟಲ್, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಅಥವಾ ಮೆಂಬರೇನ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

2.ರಾಸಾಯನಿಕ ಶೋಧಕಗಳು:

ಈ ಶೋಧಕಗಳು ನೀರಿನ ಆವಿ, ಹೈಡ್ರೋಕಾರ್ಬನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳಂತಹ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತವೆ.

ಅವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ತತ್ವಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿವೆ, ಸಕ್ರಿಯ ಇಂಗಾಲದಂತಹ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ,

ಆಣ್ವಿಕ ಜರಡಿಗಳು, ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕ sorbents.

3. ಕಾಂಬಿನೇಶನ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು:

ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸಿ ಎರಡೂ ಪ್ರಕಾರಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತವೆ

ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯವಾಗಿರುವ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

FAQ 3:

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೇಗೆ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ?

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ವಿನ್ಯಾಸವು ಹಲವಾರು ಅಂಶಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ:

* ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು:

ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಗ್ಯಾಸ್ ಸ್ಟ್ರೀಮ್‌ಗೆ ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಮಟ್ಟದ ಶುದ್ಧತೆಯು ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ಶೋಧನೆ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆ.

* ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ಒತ್ತಡ:

ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡಬೇಕಾದ ಅನಿಲದ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಒತ್ತಡವು ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ಗಾತ್ರ, ವಸ್ತು ಮತ್ತು ಸಂರಚನೆಯ ಮೇಲೆ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುತ್ತದೆ.

* ಮಾಲಿನ್ಯದ ಪ್ರಕಾರ ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆ:

ಗ್ಯಾಸ್ ಸ್ಟ್ರೀಮ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ರೀತಿಯ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಧ್ಯಮದ ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ಅದರ ರಂಧ್ರದ ಗಾತ್ರವನ್ನು ನಿರ್ದೇಶಿಸುತ್ತವೆ.

*ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಆರ್ದ್ರತೆ:

ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಷರತ್ತುಗಳು ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಜೀವಿತಾವಧಿಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು.

*ವೆಚ್ಚ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ:

ಫಿಲ್ಟರ್ನ ಆರಂಭಿಕ ವೆಚ್ಚ ಮತ್ತು ಅದರ ನಡೆಯುತ್ತಿರುವ ನಿರ್ವಹಣೆ ಅಗತ್ಯತೆಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕು.

ಈ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಪರಿಗಣಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಇಂಜಿನಿಯರ್‌ಗಳು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಪೂರೈಸುವ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಬಹುದು

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯತೆಗಳು.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಎಷ್ಟು ಬಾರಿ ಬದಲಾಯಿಸಬೇಕು?

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಬದಲಿ ಆವರ್ತನವು ಹಲವಾರು ಅಂಶಗಳ ಮೇಲೆ ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳ ಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ರೀತಿಯ ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿ, ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳನ್ನು ನಿಯಮಿತವಾಗಿ ಬದಲಾಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ

ಮಾಲಿನ್ಯದ ಯಾವುದೇ ಅಪಾಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ನಿರ್ವಹಣೆ ವೇಳಾಪಟ್ಟಿ,ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿ 6 ರಿಂದ 12 ತಿಂಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ, ಬಳಕೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ

ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್ ತಯಾರಕರಿಂದ ಶಿಫಾರಸುಗಳು.

ಆದಾಗ್ಯೂ, ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಪರಿಸರದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಬದಲಿ ವೇಳಾಪಟ್ಟಿಗಳು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬದಲಾಗಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ:

*ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು:

ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ತೆರೆದುಕೊಂಡರೆ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬದಲಾಯಿಸಬೇಕಾಗಬಹುದು

ಕಣಗಳ ಅಥವಾ ಆಣ್ವಿಕ ಮಾಲಿನ್ಯ.

* ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು:

ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಬೇಡುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ (ಉದಾ, ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ), ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬದಲಾಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ

ಪೂರ್ವಭಾವಿಯಾಗಿ ಅನಿಲ ಗುಣಮಟ್ಟವು ರಾಜಿಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು.

ಫಿಲ್ಟರ್‌ನಾದ್ಯಂತ ಡಿಫರೆನ್ಷಿಯಲ್ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವುದು ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಯಾವಾಗ ಬದಲಾಯಿಸಬೇಕೆಂದು ನಿರ್ಧರಿಸಲು ಸಾಮಾನ್ಯ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ.

ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಸಂಗ್ರಹಗೊಳ್ಳುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ಫಿಲ್ಟರ್‌ನಾದ್ಯಂತ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತವು ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ದಕ್ಷತೆಯ ಕಡಿತವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.

ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ದಕ್ಷತೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗುವ ಮೊದಲು ಅದನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವುದು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ, ಏಕೆಂದರೆ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯ ಯಾವುದೇ ಉಲ್ಲಂಘನೆಯು ಗಮನಾರ್ಹ ದೋಷಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು,

ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣದ ಹಾನಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಯಾವ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ?

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಅತ್ಯಧಿಕ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ

ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಕಂಡುಬರುವ ಕಠಿಣ ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ ವಸ್ತುಗಳು ಸೇರಿವೆ:

*ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ (316L): ಅದರ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಕಾರಣದಿಂದ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ವಸ್ತು

ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನಿಖರವಾದ ರಂಧ್ರದ ಗಾತ್ರಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ. ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಎರಡನ್ನೂ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡಲು ಇದು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ

ಮತ್ತು ಜಡ ಅನಿಲಗಳು.

*PTFE (ಪಾಲಿಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೋಎಥಿಲೀನ್): PTFE ಹೆಚ್ಚು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಫಿಲ್ಟರಿಂಗ್ ಬಳಸುವ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ

ಅನಿಲಗಳು. ಇದು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಫೋಬಿಕ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ತೇವಾಂಶ-ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು.

* ನಿಕಲ್ ಮತ್ತು ಹ್ಯಾಸ್ಟೆಲ್ಲೋಯ್:

ಈ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಅಥವಾ ಆಕ್ರಮಣಕಾರಿ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ

ಅಲ್ಲಿ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಹಾಳಾಗಬಹುದು.

* ಸೆರಾಮಿಕ್:

ಸೆರಾಮಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ತೀವ್ರವಾದ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಅಥವಾ ಉಪ-ಮೈಕ್ರಾನ್‌ಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ

ಕಣಗಳ ಶೋಧನೆ.

ವಸ್ತುವಿನ ಆಯ್ಕೆಯು ಅನಿಲದ ಪ್ರಕಾರವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಜಾತಿಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿ, ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು

ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯತಾಂಕಗಳು. ಯಾವುದೇ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ವಸ್ತುಗಳು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿರಬಾರದು

ಅಥವಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಕಣಗಳು, ಆ ಮೂಲಕ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಟ್ಟವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪಾಯಿಂಟ್-ಆಫ್-ಯೂಸ್ (ಪಿಒಯು) ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಪಾತ್ರವೇನು?

ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪಾಯಿಂಟ್-ಆಫ್-ಯೂಸ್ (ಪಿಒಯು) ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ, ಏಕೆಂದರೆ ಅವು ಅನಿಲಗಳನ್ನು ತಕ್ಷಣವೇ ಶುದ್ಧೀಕರಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪರಿಕರಗಳನ್ನು ನಮೂದಿಸುವುದು. ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಗ್ಯಾಸ್ ಸ್ಟ್ರೀಮ್‌ಗೆ ಪ್ರವೇಶಿಸಿದ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳ ವಿರುದ್ಧ ಅಂತಿಮ ರಕ್ಷಣೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ

ಸಂಗ್ರಹಣೆ, ಸಾಗಣೆ ಅಥವಾ ವಿತರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಆ ಮೂಲಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.

POU ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:

*ಕಶ್ಮಲೀಕರಣವು ವೇಫರ್‌ಗೆ ಬರದಂತೆ ತಡೆಯಲು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸಲಕರಣೆಗಳಿಗೆ (ಉದಾ, ಎಚ್ಚಣೆ ಅಥವಾ ಠೇವಣಿ ಕೋಣೆಗಳು) ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗಿದೆ.

*ಗ್ಯಾಸ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಅಥವಾ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವುದರಿಂದ ಪರಿಚಯಿಸಬಹುದಾದ ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ಆಣ್ವಿಕ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಿ.

*ಉತ್ಪಾದಿತ ಸಾಧನಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಮತ್ತು ಸಾಧನಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಾಧನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಭವನೀಯ ಅನಿಲ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ತಲುಪಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ.

* ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ, ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿ ಮತ್ತು ದೋಷದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ.

*ಸುಧಾರಿತ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಗತ್ಯ, ಅಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಸಹ ಉತ್ಪಾದಕತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಉಪಕರಣಗಳ ಡೌನ್‌ಟೈಮ್ ಅನ್ನು ಹೇಗೆ ತಡೆಯುತ್ತವೆ?

ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಉಪಕರಣಗಳ ಅಲಭ್ಯತೆಯನ್ನು ತಡೆಯುವ ಮೂಲಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಮುಕ್ತವಾಗಿರುತ್ತವೆ

ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಹಾನಿ ಉಂಟುಮಾಡುವ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ

ಠೇವಣಿ ಕೋಣೆಗಳು, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಯಂತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಉಪಕರಣಗಳು.

ಧೂಳು, ತೇವಾಂಶ ಅಥವಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಕಲ್ಮಶಗಳಂತಹ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಈ ಯಂತ್ರಗಳನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಿದರೆ, ಅವು ಹಲವಾರು ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು,

ಕವಾಟಗಳು ಮತ್ತು ನಳಿಕೆಗಳನ್ನು ಮುಚ್ಚುವುದರಿಂದ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳು ಅಥವಾ ರಿಯಾಕ್ಟರ್ ಒಳಭಾಗಗಳನ್ನು ಹಾನಿಗೊಳಿಸುವುದು.

ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಮೂಲಕ, ತಯಾರಕರು ಈ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳ ಪರಿಚಯವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತಾರೆ, ಇದು ಸಂಭವನೀಯತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಯೋಜಿತವಲ್ಲದ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸ್ಥಗಿತ. ಇದು ಸ್ಥಿರವಾದ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೇಳಾಪಟ್ಟಿಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ

ದುಬಾರಿ ಅಲಭ್ಯತೆ, ಮತ್ತು ರಿಪೇರಿ ಅಥವಾ ಬದಲಿಗಳಿಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ಗಮನಾರ್ಹ ವೆಚ್ಚಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುವುದು.

ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಉತ್ತಮವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾದ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಹರಿವಿನ ನಿಯಂತ್ರಕಗಳು, ಕವಾಟಗಳು ಮತ್ತು ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹ ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ತನ್ಮೂಲಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಒಟ್ಟಾರೆ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಲಾಭದಾಯಕತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದು.

ಹಾಗಾಗಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಕುರಿತು ಕೆಲವು ವಿವರಗಳನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿದ ನಂತರ, ನೀವು ಇನ್ನೂ ಕೆಲವು ಪ್ರಶ್ನೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದರೆ.

ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅನಿಲ ಶೋಧನೆ ಪರಿಹಾರಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿಮ್ಮ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಸಿದ್ಧರಿದ್ದೀರಾ?

ನಿಮ್ಮ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಪರಿಣಿತ ಮಾರ್ಗದರ್ಶನ ಮತ್ತು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಪರಿಹಾರಗಳಿಗಾಗಿ ಇಂದೇ HENGKO ಅನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಫಿಲ್ಟರ್ ಬಗ್ಗೆ ಕೆಲವು ವಿವರಗಳನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿದ ನಂತರ, ನೀವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಶ್ನೆಗಳನ್ನು ಪಡೆದರೆ ?

ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅನಿಲ ಶೋಧನೆ ಪರಿಹಾರಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿಮ್ಮ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಸಿದ್ಧರಿದ್ದೀರಾ?

ನಿಮ್ಮ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಪರಿಣಿತ ಮಾರ್ಗದರ್ಶನ ಮತ್ತು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಪರಿಹಾರಗಳಿಗಾಗಿ ಇಂದೇ HENGKO ಅನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿ.

ನಮಗೆ ಇಮೇಲ್ ಮಾಡಿka@hengko.comಹೆಚ್ಚಿನ ಮಾಹಿತಿಗಾಗಿ.

ನಿಮ್ಮ ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ನಿಮಗೆ ಸಹಾಯ ಮಾಡಲು ನಮ್ಮ ತಂಡ ಇಲ್ಲಿದೆ.