ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಪ್ಯೂರ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ಸುಧಾರಿತ IGS ಸರ್ಫೇಸ್ ಮೌಂಟ್ ಸಿ-ಸೀಲ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು
ವಿವರಣೆ
HENGKO ಸರ್ಫೇಸ್ ಮೌಂಟ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ OEM ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಸಂಯೋಜಿತ ಅನಿಲ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಬೇಡಿಕೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. 0.003 µm ನಲ್ಲಿ ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ ಶೋಧನೆಯನ್ನು ನೀಡುವ ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು 120 slpm ನಲ್ಲಿ ≥99.9999999% (9-LRV) ಕಣ ಪ್ರತಿಬಂಧ ದಕ್ಷತೆಯೊಂದಿಗೆ ಅಸಾಧಾರಣ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತವೆ.
ಫಿಲ್ಟರ್ ಎಲಿಮೆಂಟ್ ಮತ್ತು ಹೌಸಿಂಗ್‌ಗಾಗಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಲಾದ ದೃಢವಾದ 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೌಡರ್‌ನಿಂದ ನಿರ್ಮಿಸಲಾದ ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು SEMI F86-0304 ವಿಶೇಷಣಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿರುತ್ತವೆ, C-ಸೀಲ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್‌ನೊಂದಿಗೆ 1.125" ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಎರಡು-ಪೋರ್ಟ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ. ಅವು 100°C ನಲ್ಲಿ 3.4 MPa ಗರಿಷ್ಠ ಒಳಹರಿವಿನ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಮತ್ತು 100°C ನಲ್ಲಿ 0.69 MPa ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಒತ್ತಡದ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತವೆ.
ಈ ವಿಶೇಷ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು, ಸಿ-ಟೈಪ್ ಮತ್ತು ಡಬ್ಲ್ಯೂ-ಟೈಪ್ ಸೀಲ್ ವಿಶೇಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ, ಕಣಗಳ ಬಿಡುಗಡೆಯೊಂದಿಗೆ ಕೆಳಮುಖ ಸ್ವಚ್ಛತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ.
Ra ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯದೊಂದಿಗೆಹೊರಭಾಗದಲ್ಲಿ < 1.6 µm ಮತ್ತು Raಒಳಭಾಗದಲ್ಲಿ < 0.13 µm, ಅವುಗಳನ್ನು 460°C ವರೆಗಿನ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವಂತೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಸುಲಭ ಏಕೀಕರಣ ಮತ್ತು ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ವಿನ್ಯಾಸ ನವೀಕರಣಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅನುಸ್ಥಾಪನೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಸರಳಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಉತ್ಪನ್ನ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯ
▶ ಒಟ್ಟಾರೆ 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ನಿರ್ಮಾಣ
▶ ಚಿಕಣಿಗೊಳಿಸಿದ ವಿನ್ಯಾಸ, ಸಾಂದ್ರ ರಚನೆ, ಜಾಗ ಉಳಿತಾಯ
▶ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಅನಿಲ ಬದಲಿ ಮತ್ತು ನಿರ್ಜಲೀಕರಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
▶ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕ
▶ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಹೌಸಿಂಗ್
▶ ಸುಲಭ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸ್ಥಾಪನೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ
▶ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸೀಲಿಂಗ್, ರಚನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಮಾಧ್ಯಮಕ್ಕೆ ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಲಾಗಿಲ್ಲ
ಡೇಟಾಶೀಟ್
| ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | ಮೌಲ್ಯಗಳು |
|---|---|
| ಫಿಲ್ಟರ್ ಎಲಿಮೆಂಟ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ | 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಪೌಡರ್ |
| ವಸತಿ ಸಾಮಗ್ರಿ | 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಒಳಹರಿವಿನ ಒತ್ತಡ | 3.4 MPa @ 100°C |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ವ್ಯತ್ಯಾಸ | 0.69 MPa @ 100°C |
| ಹೀಲಿಯಂ ಪರಿಶೀಲನೆ ಸೋರಿಕೆ ದರ | 1x10⁻¹¹ ಸಿಸಿ/ನಿಮಿಷ |
| ಹೀಲಿಯಂ ಪರೀಕ್ಷಾ ಸೋರಿಕೆ ದರ | 1x10⁻⁹ ಸಿಸಿ/ನಿಮಿಷ |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆ | ಹೊರ ಮೇಲ್ಮೈ ರಾ< 1.6 μm |
| ಒಳ ಮೇಲ್ಮೈ ರಾ< 0.13 μm | |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ | 460°C ತಾಪಮಾನ |
| ಕಣ ಪ್ರತಿಬಂಧ ದಕ್ಷತೆ | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (ಉಲ್ಲೇಖ MPPS, ಎಲ್ಲಾ ಕಣಗಳು) |
| ಕೆಳಮಟ್ಟದ ಸ್ವಚ್ಛತೆ | ಕಣ ಬಿಡುಗಡೆ:< 0.03 ಕಣಗಳು/ಲೀಟರ್ (< 1 ಕಣ/ಅಡಿ³) |
| ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ವಸ್ತುಗಳು:< 10 ppb ತೇವಾಂಶ | |
| ಕಣ ಪ್ರತಿಬಂಧದ ಗಾತ್ರ | ≥0.003 μm |
| ಹರಿವಿನ ಶ್ರೇಣಿ | 0 ~ 120 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ |
ಗಾತ್ರ
ನೀವು ಆರ್ಡರ್ ಮಾಡಬಹುದಾದ ಭಾಗ ಸಂಖ್ಯೆ ಮತ್ತು ಗಾತ್ರದ ವಿವರಗಳು ಇಲ್ಲಿವೆ:
| ಉತ್ಪನ್ನ ಮಾದರಿ | ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ | ಎತ್ತರ H (ಮಿಮೀ) | ಶೋಧನೆ ನಿಖರತೆ | ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಮಟ್ಟ |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 ಪರಿಚಯ | 10 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ | 51.6 (ಸಂಖ್ಯೆ 1) | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 ಪರಿಚಯ | 40 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 ಪರಿಚಯ | 80 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ | ೧೨೬.೨ | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 ಪರಿಚಯ | 120 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ | 167.9 | 0.003 μm | C |
ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು
W-ಸೀಲ್ ಮತ್ತು C-ಸೀಲ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಬಳಸಲು, 1.125” ಮತ್ತು 1.5” ಮೇಲ್ಮೈ ಮೌಂಟ್ ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು.
ನಿಮ್ಮ ಸಂದೇಶವನ್ನು ನಮಗೆ ಕಳುಹಿಸಿ:
