ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಡೆಲಿವರಿ ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ IGS ಸರ್ಫೇಸ್ ಮೌಂಟ್ ಸಿ ಸೀಲ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು
ವಿವರಣೆ
HENGKO ಸರ್ಫೇಸ್ ಮೌಂಟ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ OEM ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಸಂಯೋಜಿತ ಅನಿಲ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಬೇಡಿಕೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. 0.003 µm ನಲ್ಲಿ ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ ಶೋಧನೆಯನ್ನು ನೀಡುವ ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು 120 slpm ನಲ್ಲಿ ≥99.9999999% (9-LRV) ಕಣ ಪ್ರತಿಬಂಧ ದಕ್ಷತೆಯೊಂದಿಗೆ ಅಸಾಧಾರಣ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತವೆ.
ಫಿಲ್ಟರ್ ಎಲಿಮೆಂಟ್ ಮತ್ತು ಹೌಸಿಂಗ್‌ಗಾಗಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಲಾದ ದೃಢವಾದ 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೌಡರ್‌ನಿಂದ ನಿರ್ಮಿಸಲಾದ ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು SEMI F86-0304 ವಿಶೇಷಣಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿರುತ್ತವೆ, C-ಸೀಲ್ ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್‌ನೊಂದಿಗೆ 1.125" ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಎರಡು-ಪೋರ್ಟ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ. ಅವು 100°C ನಲ್ಲಿ 3.4 MPa ಗರಿಷ್ಠ ಒಳಹರಿವಿನ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಮತ್ತು 100°C ನಲ್ಲಿ 0.69 MPa ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಒತ್ತಡದ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತವೆ.
ಈ ವಿಶೇಷ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು, ಸಿ-ಟೈಪ್ ಮತ್ತು ಡಬ್ಲ್ಯೂ-ಟೈಪ್ ಸೀಲ್ ವಿಶೇಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ, ಕಣಗಳ ಬಿಡುಗಡೆಯೊಂದಿಗೆ ಕೆಳಮುಖ ಸ್ವಚ್ಛತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ.
Ra ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯದೊಂದಿಗೆಹೊರಭಾಗದಲ್ಲಿ < 1.6 µm ಮತ್ತು Raಒಳಭಾಗದಲ್ಲಿ < 0.13 µm, ಅವುಗಳನ್ನು 460°C ವರೆಗಿನ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವಂತೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಸುಲಭ ಏಕೀಕರಣ ಮತ್ತು ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ವಿನ್ಯಾಸ ನವೀಕರಣಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅನುಸ್ಥಾಪನೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಸರಳಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಉತ್ಪನ್ನ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯ
▶ ಒಟ್ಟಾರೆ 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ನಿರ್ಮಾಣ
▶ ಚಿಕಣಿಗೊಳಿಸಿದ ವಿನ್ಯಾಸ, ಸಾಂದ್ರ ರಚನೆ, ಜಾಗ ಉಳಿತಾಯ
▶ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಅನಿಲ ಬದಲಿ ಮತ್ತು ನಿರ್ಜಲೀಕರಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
▶ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕ
▶ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಹೌಸಿಂಗ್
▶ ಸುಲಭ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸ್ಥಾಪನೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ
▶ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸೀಲಿಂಗ್, ರಚನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಮಾಧ್ಯಮಕ್ಕೆ ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಲಾಗಿಲ್ಲ
ಡೇಟಾಶೀಟ್
| ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | ಮೌಲ್ಯಗಳು |
|---|---|
| ಫಿಲ್ಟರ್ ಎಲಿಮೆಂಟ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ | 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಪೌಡರ್ |
| ವಸತಿ ಸಾಮಗ್ರಿ | 316L ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ |
| ಗರಿಷ್ಠ ಒಳಹರಿವಿನ ಒತ್ತಡ | 3.4 MPa @ 100°C |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ವ್ಯತ್ಯಾಸ | 0.69 MPa @ 100°C |
| ಹೀಲಿಯಂ ಪರಿಶೀಲನೆ ಸೋರಿಕೆ ದರ | 1x10⁻¹¹ ಸಿಸಿ/ನಿಮಿಷ |
| ಹೀಲಿಯಂ ಪರೀಕ್ಷಾ ಸೋರಿಕೆ ದರ | 1x10⁻⁹ ಸಿಸಿ/ನಿಮಿಷ |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಚಿಕಿತ್ಸೆ | ಹೊರ ಮೇಲ್ಮೈ ರಾ< 1.6 μm |
| ಒಳ ಮೇಲ್ಮೈ ರಾ< 0.13 μm | |
| ಗರಿಷ್ಠ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ | 460°C ತಾಪಮಾನ |
| ಕಣ ಪ್ರತಿಬಂಧ ದಕ್ಷತೆ | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (ಉಲ್ಲೇಖ MPPS, ಎಲ್ಲಾ ಕಣಗಳು) |
| ಕೆಳಮಟ್ಟದ ಸ್ವಚ್ಛತೆ | ಕಣ ಬಿಡುಗಡೆ:< 0.03 ಕಣಗಳು/ಲೀಟರ್ (< 1 ಕಣ/ಅಡಿ³) |
| ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ವಸ್ತುಗಳು:< 10 ppb ತೇವಾಂಶ | |
| ಕಣ ಪ್ರತಿಬಂಧದ ಗಾತ್ರ | ≥0.003 μm |
| ಹರಿವಿನ ಶ್ರೇಣಿ | 0 ~ 120 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ |
ಗಾತ್ರ
ನೀವು ಆರ್ಡರ್ ಮಾಡಬಹುದಾದ ಭಾಗ ಸಂಖ್ಯೆ ಮತ್ತು ಗಾತ್ರದ ವಿವರಗಳು ಇಲ್ಲಿವೆ:
| ಉತ್ಪನ್ನ ಮಾದರಿ | ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ | ಎತ್ತರ H (ಮಿಮೀ) | ಶೋಧನೆ ನಿಖರತೆ | ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಮಟ್ಟ |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 ಪರಿಚಯ | 10 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ | 51.6 (ಸಂಖ್ಯೆ 1) | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 ಪರಿಚಯ | 40 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 ಪರಿಚಯ | 80 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ | ೧೨೬.೨ | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 ಪರಿಚಯ | 120 ಎಸ್‌ಎಲ್‌ಪಿಎಂ | 167.9 | 0.003 μm | C |
ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು
W-ಸೀಲ್ ಮತ್ತು C-ಸೀಲ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಬಳಸಲು, 1.125” ಮತ್ತು 1.5” ಮೇಲ್ಮೈ ಮೌಂಟ್ ಮಾಡ್ಯುಲರ್ ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು.
ನಿಮ್ಮ ಸಂದೇಶವನ್ನು ನಮಗೆ ಕಳುಹಿಸಿ:
