ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ ತಾಪಮಾನ ಆರ್ದ್ರತೆ ನಿಯಂತ್ರಣ ಯೋಜನೆಗಾಗಿ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ತೇವಾಂಶ ಸಂವೇದಕ
ಉತ್ಪನ್ನ ಪ್ರದರ್ಶನ
ತಾಪಮಾನಮತ್ತುಶುದ್ಧ ಜಾಗದ ಆರ್ದ್ರತೆಯನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿ, ಸೌಕರ್ಯದ ಅರ್ಥವನ್ನು ಗಣನೆಗೆ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಬೇಕು.ಗಾಳಿಯ ಶುಚಿತ್ವದ ಅಗತ್ಯತೆಗಳ ಸುಧಾರಣೆಯೊಂದಿಗೆ, ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಆರ್ದ್ರತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಹೆಚ್ಚು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಪ್ರವೃತ್ತಿ ಕಂಡುಬಂದಿದೆ.
ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ನಿಖರತೆ ಹೆಚ್ಚು ಹೆಚ್ಚು ಉತ್ತಮವಾಗಿರುವುದರಿಂದ, ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯು ಕಡಿಮೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ.ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಲಿಥೋಗ್ರಾಫಿಕ್ ಮಾನ್ಯತೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಮುಖವಾಡ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಗಾಜಿನ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ನಡುವಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕದ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರಬೇಕು.ವ್ಯಾಸ 100 um ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್, ತಾಪಮಾನ ಏರಿಕೆ 1 ಡಿಗ್ರಿ, 0.24um ರೇಖಾತ್ಮಕ ವಿಸ್ತರಣೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ± 0.1 ಡಿಗ್ರಿ ತಾಪಮಾನ ಇರಬೇಕು, ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಆರ್ದ್ರತೆಯ ಮೌಲ್ಯವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಇರುತ್ತದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಜನರು ಬೆವರು ಮಾಡುತ್ತಾರೆ, ಉತ್ಪನ್ನವು ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೋಡಿಯಂ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕಾರ್ಯಾಗಾರಕ್ಕೆ ಹೆದರುತ್ತಾರೆ, ಈ ಕಾರ್ಯಾಗಾರವು 25 ಡಿಗ್ರಿಗಳನ್ನು ಮೀರಬಾರದು.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಆರ್ದ್ರತೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಮಸ್ಯೆಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯು 55% ಮೀರಿದಾಗ, ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರಿನ ಪೈಪ್ನ ಗೋಡೆಯ ಮೇಲೆ ಇಬ್ಬನಿ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಇದು ನಿಖರವಾದ ಸಾಧನಗಳು ಅಥವಾ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳಲ್ಲಿ ಸಂಭವಿಸಿದಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಅಪಘಾತಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯು 50% ಆಗಿದ್ದರೆ, ತುಕ್ಕು ಹಿಡಿಯುವುದು ಸುಲಭ.ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ತೇವಾಂಶವು ತುಂಬಾ ಹೆಚ್ಚಿರುವಾಗ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಚಿಪ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಅಂಟಿಕೊಂಡಿರುವ ಧೂಳು ತೆಗೆಯುವುದನ್ನು ವಿರೋಧಿಸಲು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆ, ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಕಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಸಾಪೇಕ್ಷ ಆರ್ದ್ರತೆಯು 30% ಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಾದಾಗ, ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ಬಲದ ಕ್ರಿಯೆಯಿಂದಾಗಿ ಕಣಗಳು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲು ಸುಲಭ, ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಖ್ಯೆಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನಗಳು ಸ್ಥಗಿತಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತದೆ.ವೇಫರ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಗರಿಷ್ಠ ತಾಪಮಾನದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯು 35-45% ಆಗಿದೆ.
ಆದ್ದರಿಂದ, ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ತೇವಾಂಶದ ನಿಯಂತ್ರಣವು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ, HENGKO ನಿಮಗೆ ಸರಣಿಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ತೇವಾಂಶ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಮಿಟರ್ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪರಿಹಾರಗಳು!
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ ತಾಪಮಾನ ಆರ್ದ್ರತೆ ನಿಯಂತ್ರಣ ಯೋಜನೆಗಾಗಿ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ತೇವಾಂಶ ಸಂವೇದಕ
ನಿಮ್ಮ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯಲಾಗುತ್ತಿಲ್ಲವೇ?ನಮ್ಮ ಮಾರಾಟ ಸಿಬ್ಬಂದಿಯನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿOEM/ODM ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ ಸೇವೆಗಳು!